为满足飞行器典型部件隐身需求,针对等离子体隐身技术应用中存在的在低空开放环境下不易产生和维持的问题,设计了一种封闭式的等离子体发生器。使用μs脉冲电源,以氩气为工作气体,在低气压下进行了放电实验。利用发射光谱法,研究了电子温度和电子密度在密闭腔体内部的分布规律。等离子体电子温度变化采用Boltzmann曲线斜率法进行分析,等离子体电子密度的变化通过分析Ar 750.38nm谱线强度变化得到。实验发现:放电电压对于电子密度的影响较为强烈,而对于电子温度影响相对较小。无论从腔体X轴还是Y轴出发,都可以看出其电子温度总体上呈现下降趋势,而电子密度逐渐增加。而且由于进气口和真空泵接口的位置分布产生的气压梯度原因,2个参数的变化在X轴向上都表现得更为强烈。子体发生器应在其腔体内部产生一定电子密度的平板状等离子体，为简化机载使用，管路及电路连接应尽量简洁。本文中发生器密闭腔体主体是一个厚度为１ｃｍ的玻璃制长方体腔封闭式等离子体发生器-数控滚圆机滚弧机切管机张家港切管机钢管切管机，长为１０ｃｍ，宽为１０ｃｍ，高４ｃｍ，其中内部腔体厚度达到２ｃｍ。本文由公司网站张家港切管机网站采集转载中国知网网络资源整理! http://www.qieguanji.cc在腔室两侧设置进出气口并安装外径１５．８ｍｍ的高硼硅玻璃管用于安装ＫＦ１６规管接头。进出气口位置错开分布以保证在腔体内通入其他气体时，可以使气体分布相对均匀。放电电极为９５ｍｍ×２０ｍｍ×１．５ｍｍ的铜电极，固定于密闭腔体两侧。图１为等离子体发生器及实验连接示意图。实验时腔体一端通入高纯氩气，另一端用真空机械泵持续抽气。实验采用的电源为μｓ脉冲等离子体电源，电压０～２０ｋＶ，脉宽为８～２０μｓ，最高频率３０ｋＨｚ。实验主要对等离子体的电参数和发射进行了测量。放电高压探头ＴｅｋｔｒｏｎｉｘＰ６０１５Ａ用来测量放电电压。放电电流通过ＴＣＰ３１２＋ＴＣＰＡ３００电流探针组合获得。电压和电流信号由ＤＰ０４１０４数字示波器记录并存储。等离子体放电产生的光经由光纤引入光谱，由与其连接的计算机控制、采集并进行数据的存储。在实验中移动光纤探头，在腔体Ｘ轴向和Ｙ轴向分别选取５ｃｍ的５个位置分别测量等离子体发射光谱。２实验测量与结果分析在腔体内部通入氩气进行实验，腔体内气压约为１００Ｐａ，设定电源频率为７ｋＨｚ，２．８ｋＶ时Ａｒ原子激发电离，随着电压增强，发射谱线强度也逐渐增强，在放电电压峰－峰值为１１．１ｋＶ时 封闭式等离子体发生器-数控滚圆机滚弧机切管机张家港切管机钢管切管机本文由公司网站张家港切管机网站采集转载中国知网网络资源整理! http://www.qieguanji.cc