精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm~100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测量范围、分辨率和对样品的适用性,分析了薄膜厚度测量过程中误差产生的机理。实验结果表明:当存在膜层台阶时,10 nm~100μm的膜厚测量均可采用接触式表面轮廓仪,对于硬度较高的膜层可采用电感测微仪,对于厚度小于0.5μm的膜层可采用原子力显微镜;对于可观察样品侧面、厚度大于0.7μm的膜层可采用扫描电镜,工具显微镜适用于μm级膜层,对于厚度大于20μm的膜层不宜采用光谱椭偏仪。 汽轮机油被广泛应用于火力发电厂汽轮机的调节系统,随着使用年限的增加,其润滑性能和电气性能会随之下降。针对汽轮机油老化状态缺少简单有效的实时监测手段这一问题,串扰方法-数控滚圆机滚弧机价格低电动滚圆机滚弧机多少钱提出用核磁共振技术进行检测,并设计了一种方便实时监测的微型核磁共振传感器。传感器尺寸为30 mm×30 mm×36 mm,重107 g,可以浸泡在汽轮机油中对其进行检测。通过对来自两个发电厂的不同使用年限的汽轮机油进行测量实验发现:汽轮机油的核磁共振参数有效横向弛豫时间T2eff与纵向弛豫时间T1随着其使用年限的增加而减小。该传感器制作成本低,尺寸微小,操作方便,使得实时监测汽轮机油的老化状态成为一种可能。本文由张家港切管机网站采集网络资源整理! http://www.qieguanji.cc 针对传统Ag/Ag Cl胶状电极在长期心电监护中出现的问题和近年来可穿戴式健康监测的发展需求,对可用于心电信号采集的新型传感器技术——织物电极技术进行了综述。介绍了干电极、织物电极的概念;从有源电极和无源电极两方面分别对织物电极技术研究进展进行了分析;从制作工艺、导体材质、依托载体、电化学性能等织物电极技术进行了讨论;分析了目前织物电极在市场应用中的制约因素,并对未来织物电极技术的发展方向进行了展望。 基于普通位移传感器与光纤位移传感器两者的性能特征,概述光纤传感技术在位移传感方面上的优势。将光纤位移传感器分为两大类:本征型和非本征型,并详细介绍各类光纤位移传感器的原理、结构以及特点。根据其原理进一步探讨光纤位移传感技术的发展与应用。串扰方法-数控滚圆机滚弧机价格低电动滚圆机滚弧机多少钱本文由张家港切管机网站采集网络资源整理! http://www.qieguanji.cc