研究压电陶瓷驱动器高精度的开环控制方法所研制的六自由度工作台有微型化要求,没有安装位移传感器的空间,只能采用开环控制。而压电陶瓷驱动器的迟滞、蠕变特性严重影响开环控制精度。因此从压电陶瓷材料的变形机理入手,深入研究了压电陶瓷驱动器的迟滞特性和蠕变特性,提出了压电陶瓷驱动器的“抗迟滞”和“抗蠕变”高精度开环控制方法。实验结果表明:压电陶瓷驱动器的最大迟滞误差下降了90%左右,蠕变误差也减小了一个数量级,定位稳定时间也大大缩短,使通过开环控制实现六自由度的高精度定位成为可能。上述驱动方法已申请2项国家发明专利,其中1项已获批。控制方法-数控滚圆机滚弧机价格低张家港滚圆机滚弧机多少钱(3)研制微型化多通道高精度压电陶瓷驱动电源性能良好的驱动电源是实现压电陶瓷高精度定位的关键,本论文研究主要从拓展通道数、降纹波、本文由张家港切管机网站采集网络资源整理! http://www.qieguanji.cc抗干扰、减小体积和控制放大器工作温度等几个方面入手,自行研制出了微型化低纹波的多通道压电陶瓷驱动电源,并完成了相应的特性标定实验。经测试,八路电源输出电压的非线性误差小于0.05%,分辨率为6mV,静态电压纹波小于9mV,功率带宽可达5kHz,连续输出电流可达1.5A,连续工作8小时电压变化量小于0.01%,体积仅为280*260*120mm(博实三通道压电陶瓷电源体积为385*150*340mm),满足压电陶瓷驱动的要求。(4)六自由度纳米工作台驱动实验研究工作台实际的结构参量与其理论值间存在差异,各驱动器特性也不完全一致,因此对六自由度纳米工作台进行了各自由度的位移特性标定实验,确定了各自由度的驱动特性,并建立了修正后的六自由度并行驱动控制模型,继而对纳米工作台的最终运动精度进行标定,实验验证了前期的研究成果。六自由度纳米工作台的最大重复性误差小于28nm,可以满足全场并行共焦检测插值采样的需求控制方法-数控滚圆机滚弧机价格低张家港滚圆机滚弧机多少钱本文由张家港切管机网站采集网络资源整理! http://www.qieguanji.cc